LeMachine de découpe laser avec module d'alimentation en nitrure d'aluminium (AlN)est spécialement développé pour l'usinage de précision des substrats céramiques AlN utilisés dans les emballages de semi-conducteurs-haute puissance. Il est entièrement compatible avec le traitement de la céramique d'alumine et prend en charge la découpe, le perçage, le traçage, l'usinage de rainures d'isolation et le traitement de contour de précision sur les substrats de modules de puissance AlN.
Equipé d'unLaser à fibre QCW 150 Wen standard, la machine offre une efficacité de traitement élevée pour les céramiques AlN à haute -conductivité thermique-. UN
355 laser UV nmest disponible pour les applications nécessitant des fonctionnalités plus fines et un impact thermique inférieur.
Conçu pour la fabrication de l'automobile, de l'électronique de puissance, des énergies renouvelables et des semi-conducteurs, le système offre une production stable et à haut rendement tout en minimisant les dommages thermiques et les pertes de matériaux.
Principales fonctionnalités
Prévenir les fissures thermiques dans les céramiques AlN
Le processus de coupe optimisé en plusieurs-passes réduit efficacement les contraintes thermiques, aidant ainsi à prévenir l'écaillage des bords et les fissures thermiques pendant l'usinage.
Minimiser les précipitations d’aluminium
Un contrôle précis de l'énergie laser supprime les précipitations d'aluminium sur les bords coupés, améliorant ainsi les performances d'isolation et réduisant le risque de fuite électrique.
Compatible avec les substrats AlN métallisés
Prend en charge les céramiques AlN nues, les substrats AlN métallisés, les substrats AlN DBC et AlN AMB tout en minimisant les dommages aux couches de cuivre et aux interfaces de liaison.
Semi-conducteur-Niveau de précision
- Répétabilité :±3 μm
- Plate-forme de moteur linéaire stable
- Alignement de la vision en haute-résolution
- Excellente précision des contours pour les conceptions de modules de puissance complexes
Large compatibilité matérielle
Convient pour :
- Nitrure d'aluminium nu (AlN)
- AlN métallisé
- Substrats AlN DBC
- AlN AMBsubstrats
Épaisseur de la céramique :
0,2 à 2 mm(selon le matériau)
Configuration de base
Laser à fibre QCW 150 W (standard)
Laser nanoseconde UV 355 nm en option
Transmission de moteur linéaire importée
Échelle de réseau de 0,1 μm
Système de mouvement CNC entièrement fermé-en boucle
Positionnement de la vision CCD de haute-précision
Base de machine en granit naturel
Plateforme d'adsorption sous vide
Système d'extraction de poussière industrielle
Spécifications techniques
| Article | Spécification |
| Longueur d'onde laser | 1 060 à 1 080 nm |
| Puissance laser | 150 W (personnalisable) |
| Zone de traitement | 300 × 300 millimètres |
| Épaisseur de coupe | 0,2 à 2 mm (selon le matériau) |
| Répéter la précision du positionnement | ±3 μm |
| Vitesse de traitement | 0 à 2 500 mm/min |
| Vitesse de déplacement maximale | 60 m/min |
| Accélération maximale | 1.0 G |
| Précision de la table de travail | Inférieur ou égal à 0,015 mm |
| Système de transmission | Moteur linéaire importé + 0.1 échelle de réseau μm |
| Puissance des machines | Inférieure ou égale à 6 kW (hors dépoussiéreur) |
| Poids de la machine | Environ. 1700 kg |
| Dimensions de la machine | 1400 × 1500 × 1800 mm |
Applications typiques
Convient pour l'usinage de précision de :
- Substrats de module de puissance SiC
- Électronique de puissance GaN
- Onduleurs de traction EV
- Chargeurs embarqués-(OBC)
- Modules de puissance de stockage d'énergie
- Systèmes de traction ferroviaire
- Dispositifs d'alimentation RF 5G
- Électronique de puissance aérospatiale
- Modules de refroidissement laser haute-puissance
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Avec une vaste expérience dans le traitement laser de la céramique,YCLASERfournit des solutions complètes d'usinage laser pour les substrats céramiques AlN, comprenant des tests d'échantillons gratuits, l'optimisation des processus, la personnalisation des équipements, l'installation et l'assistance technique.
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